Вакуумною технікою називають сукупність пристроїв, матеріалів, засобів та технологій для ефективного зниження тиску (а значить, концентрації молекул n) газу в заданому технологічному об"ємі. Для отримання високого вакууму вакуумну техніку включають в послідовний ланцюжок установок. 

1. Механічні форвакуумні насоси. Завжди виступають першою ступінню будь-якої  вакуумної установки. Працюють за принципом, зворотнім до роботи компресора. Досяжні розрідження - 10^-2 мм рт ст.

2. Дифузійні (стуминні) насоси.  В основі роботи - рівняння Бернуллі. Друга ступінь вакуумної установки. Розрідження - 10^-5 мм рт ст. 

3. Кріогенне виморожування. Найчастіше - рідким азотом. Розрідження - 10^-7 мм рт ст. 

4. Електросорбційні методи. Іонізація газу та втягування електричним полем іонів в область сорбента. Остання ступінь вакуумної установки. Розрідження - до 10^-9 мм рт ст.