Різні етапи розвитку електроніки в напрямку мінітюаризації. Стадія мікроелектроніки характеризувалась створенням інтегральних мікросхем, характерний розмір активних елементів яких був меншим за 10 мкм. Нинішній стан - наноелектроніка - характеризується створенням інтегральних схем, розміри активних елементів яких менше 100 нм. Успіх став можливим завдяки інтерференційним методам еталонування та вимірювання довжин, точність яких 1 нм.